高效过滤器检漏的目的：通过对洁净室已安装好的高效过滤器进行检漏),确认高效过滤器的完整性及密封性，从而确保测试区域内的洁净室的洁净度。

延伸：高效过滤器及其安装如存在缺陷，如过滤器本身有小孔洞或者安装不严密形成微小裂缝，都会导致达不到预定的净化效果。因此，高效过滤器安装或更换后，必须对过滤器和安装连接处进行检漏。通过测试高效过滤器的泄漏量，发现高效过滤器及其安装的缺陷所在，以便采取补救措施 。

下面为高效过滤器检漏步骤介绍

1、测试之前拆除空调箱的二级中效过滤器，将气溶胶发生器放置在风机的负压段，并将其加热到400℃。

2、将气溶胶发生器的进气口与氮气瓶接通，缓慢打开氮气瓶出口减压阀，使氮气压力保持在0.2～0.5Mpa左右，立即会产生气溶胶颗粒。

3、稳定一段时间后，在总送风管测风速处用气溶胶光度计检测气溶胶浓度，即上游浓度值。所测气溶胶浓度应在10～20ug/L范围内。

4、测试下游气溶胶颗粒之前，将气溶胶浓度参比值设为上游测得的浓度值。用气溶胶光度计采样探头对高效过滤器及其四周框架扫描检漏。检测时光度计探头离开过滤器表面2～4cm，沿着过滤器内边框来回扫描检漏，扫描速度3～5cm/s，扫描顺序依次为括过滤器整个断面、过滤器滤纸与框架之间、框架本身及其它安装节点处。

5、检漏时应有两人操作，一人在上面用光度计采样探头来回扫描过滤器，另一人在下面观察光度计显示数值，并做好记录。

了解更多：如何降低高效过滤器本身的泄漏

包含：钠焰法、油雾法、DOP 法、粒子计数法、荧光法。

2.2.1钠焰法

该方法在1969年起源于英国，欧洲部分国家于20世纪70~90年代实行。目前在我国仍在使用，它的实验尘源为单分散相氣化钠盐雾。钠焰法是根据钠原子被氢气火焰激发后发出波长为589nm的特征光，光的强度与气溶胶质量浓度成比例的原理，通过检测被测过滤器前后光强度的比值来计算过滤器效率。盐水在压缩空气的搅动下飞溅，经干燥形成微小盐雾并进入风道。在过滤器前后分别采样， 含盐雾气样使氢气火焰的颜色变蓝、亮度增加。以火焰的亮度来判断空气的盐雾浓度，并以此确定过滤器对盐雾的过滤效率，主要仪器为光度计国家标准规定的盐雾颗粒平均直径为0.4μm,但对国内现有装置的实测结果为0.5μm。欧洲对实际实验盐雾颗粒中径的测量结果为该方法的相关标准有：英国BS3928-1969,欧洲Eurovent 4/4,中国GB6165-85。

钠焰法只能检测过滤效率小于5个9的过滤器，并且不同的钠焰台对同一系列过滤器的检测表明钠焰台的效率测试结果往往相差偏大，另外钠焰法测试会对过滤器造成钠污染，用此方法进行过测试的被测卨效过滤器在电子行业中的应用有很大限制。随着扫描法的普及，欧洲己经不再使用钠焰法，国内有关部门正在修订原有的国家标准。

2.2.2油雾法

该方法起源于德国，中国和前苏联也实行。尘源为油雾。以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。德国规定使用石蜡油，油雾粒径为0.3-0.5μm国内标准规定油雾平均重量直径为0.28-0.34μm,对油的种类未做具体规定。该方法在徳国已经成为历史，在国内也只有部分生产滤材的厂家在测量过滤材料时使用。相关的标准有：中国GB6165-85,德国DIN24184-1990。

2.2 3 DOP 法

该方法曾经是国际上测量高效过滤器最常用的方法，于1956年起源于美国， 曾被许多国家釆用，但在中国国家标准中未被采用。它的实验尘源为0.3μm单分散相邻苯二甲酸—辛酯（DOP)液滴，也称为“热DOP”。将DOP液体加热成 蒸汽，蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下0.3μm左右的颗粒，进入风道。测量过滤器前后气样的浊度，并由此判断过滤器 对0.3μm粉尘的过滤效率。测量仪器主要是光散射式光度计（photometer)。与此对应的‘‘冷DOP”是指Laskin喷嘴（用压缩空气在液体中鼓气泡，飞溅产生雾态人工尘）产生的多分散项DOP粉尘，在对过滤器进行扫描测试时，人们经常使用冷DOP。相关标准有：MIL-STD-282-1956。

早期，人们认为过滤器对0.3μm的粉尘最难过滤，因此规定使用0.3μm粉尘测量高效过滤器。DOP中含苯环，人们怀疑它致癌，因此许多实验室改用性能类似但不合苯环的替代物，如DOS。

2.2.4粒子计数法

该方法在欧洲通用，美国超高效过滤器测试也采用比较类似的方法。是目前国际上的主流测试方法。尘源为多分散相液滴，或确定粒径的固体粉尘。有时， 过滤器厂商要按照用户的特殊要求，使用大气粉尘或其他特定粉尘。若测试中使用的是凝结核计数器，就必须使用粒径已知的单分散相实验粉尘。主要测量仪器为大流量激光粒子计数器或凝结核计数器（CNC）。用计数器对过滤器的整个出风面进行扫描检验，计数器给出毎点的粉尘的个数，还可以比较各点的局部效率》 欧洲的经验表明，对于高效空气过滤器，最易穿透的粉尘粒径在0.1μm~0.25μm 之间的某一点，先确定测试条件最易穿透粉生粒径，然后连续扫描测量过滤器对该粒径粉尘的过滤器效果，欧洲将这种方法称为MPPS法。美国标准规定只测最 0.l~0.2nm区间的颗粒。该方法的相关标准有：欧洲EN1882-1998~2000,美国 IES-RP-CC007.1-1992。

2.2.5荧光法
只有法国使用目前仅限于对部分核工业过滤器的测试。试验尘源为喷雾器产生的荧光素钠粉尘。试验中，首先在过滤器前后采样，然后用水溶解采样滤纸上的荧光素钠，再测景含荧光素钠水溶液在特定条件下的荧光亮度，这一亮度间接地反映出粉尘的重竜。以过滤器前后样品的荧光克度差別来判断过滤器效率发尘装置产生的粉尘粒径的计数乎均值为0.08μm粒径的体积平均值为0.15μm。

本文出处：基于欧洲1822标准的高效空气过滤器全效率测试台及扫描测试台的研制

随着电子工业的飞速发展，对电子工业产品生产环境中的悬浮微粒的控制越来越严格，使得空气过滤产业面临着巨大的机遇和挑战。目前国内现行的高效、 超高效过滤器性能测试国家标准的钠焰法、油雾法由于种种缺陷己不能满足实际发展的需要。因此有必要参考相关国际标准研制新型高效、超高效空气过滤器性能检测系统，解决国内高效空气过滤器质量检测手段落后的现状。

本检漏系统以欧洲标准EN1822为纲领，同时借鉴日本J1SB9908标准及美 国IEST标准，分别搭建了高效（超高效）过滤器全效率测试台和扫描测试台。整套系统可以测量高效空气过滤器的最易穿透粒径效率和局部效率。鉴于国外高效过滤器检测系统的自动化程度比国内要高出一定水平，通过引入步进电机等自动化仪器仪表自行开发了该检测台的自动控制系统和系统控制软件，使该检测台自动化程度高，功能全面。本检测系统在前人工作的基础上重新设计了扫描结构和扫描程序，实现了扫描台的实用性。

本文重点介绍检测台的制作，设备选型，自动控制系统的设计。通过新型高效滤器性能检测实验台的研制.获得一些有价值的数据资料。本检测系统的建成为国内过滤器生产商提供了一套保证其产品质量的有利T工具，对今后的过滤器自动检测系统的设计.和制造有一定的指导意义。

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文章来源：基于欧洲1822标准的高效空气过滤器全效率测试台及扫描测试台的研制

高效过滤器检漏分为出厂检测和现场检测两种。

出厂检测：即为过滤器厂家在做好的高效过滤器时对其进行的检测，检测合格才出厂。

现场检测：主要是针对过滤器的一些出厂数据进行核实、检测。

高效过滤器检漏的目的：通过对洁净室已安装好的高效过滤器进行PAO检漏(高效过滤器检漏PAO的扫描方法),确认高效过滤器的完整性及密封性，从而确保测试区域内的洁净室的洁净度。

延伸：高效过滤器及其安装如存在缺陷，如过滤器本身有小孔洞或者安装不严密形成微小裂缝，都会导致达不到预定的净化效果。因此，高效过滤器安装或更换后，必须对过滤器和安装连接处进行检漏。通过测试高效过滤器的泄漏量，发现高效过滤器及其安装的缺陷所在，以便采取补救措施 。

工作原理：在被检测高效过滤器上风侧发生PAO气溶胶作为尘源，在下风侧用光度计采样检测，含尘气体经过光度计时产生的散射光经光电效应和线性放大转换为电量，并由微安表快速显示，采集到的空气样品通过光度计的扩散室，由于粒子扩引起灯光强度的差异，经测定这个光强度，光度计便可测得气溶胶的相对浓度。PAO检漏法中测得的是高效过滤器的穿透率，即光度计直接显示穿透率读数。

药厂PAO检测产品一般为：液槽高效过滤器、DOP液槽高效送风口、DOP液槽FFU、百级层流传递窗等产品。

目前针对高效过滤器检漏PAO的检测设备不同，高效过滤器检漏PAO的扫描方法可以分为两大类：气溶胶光度计扫描（photometer scanning）和颗粒计数器扫描（particle counter scanning）。当然两种检测设备也是各有优点和缺点的，本文摘自EN-SIO-14644-3的一些相关信息。

1、气溶胶光度计扫描的缺点：

光度计的精度较颗粒计数器差，所以只能测试HEPA高效过滤器，ULPA超高效过滤器只能用颗粒计数法。

2、气溶胶光度计扫描的优点：

光度计使用方便、检测结果易于判断、对泄露检测比较敏感，所以在现场检漏中应用比较广泛，药厂多用此法做现场测试。

一般来讲在做气溶胶光度计扫描法时，其上游的浓度是做颗粒计数器扫描时的100到1000倍。（摘自：EN-SIO-14644-3-B.6.1.2）

气溶胶光度计扫描法（photometer scanning）与颗粒计数器扫描法（particle counter scanning）做为高效过滤器检漏测试都可行并有相关测试标准，但测试结果没有直接的可比性。（摘自：EN-SIO-14644-3-B.6.1.1）

了解更多高效检测知识：高效过滤器检漏

直达PAO检漏法介绍：高效过滤器检漏测试PAO法

小知识：为什么要对高效过滤器现场测试？

通常，过滤器通过出厂检验，由过滤器厂商提供测试报告，由此证明过滤器符合客户现场需求。但是，客户如何能够更准确清晰的了解过滤设备在现场使用环境下，依旧能够保持厂商出厂所作的保证呢？这时候，就必须要通过对过滤设备进行现场检测，以确认其能够达到用户需求及供应商报告所显示的过滤效果。

根据对PAO的检测设备不同，高效过滤器检漏PAO的扫描方法可以分为两大类：气溶胶光度计扫描（photometer scanning）和颗粒计数器扫描（particle counter scanning）。

1、使用气溶胶光度计扫描（photometer scanning）

便携式数字光度计规格

大小:25.7 cm × 33.0 cm × 15.2 cm

重量:21.8Kg，其中主机8.6Kg

电源:100-250V，50/60Hz，0.25 amps @ 240V

自动归零:启动时自动零读数

报警:超过设置点时，有声音、视觉和震动报警

流速控制:宽脉冲调节能使流速控制在1cfm (28.3lpm) +/- 10%

气溶胶设置:PAO-4, DOP,

动态范围:最高到600微克/升

灵敏度:读数的1%（读数在0.01%到100%之间）

重复性:读数的0.5%（读数在0.01%到100%之间）

光源:稳定的固态光源

数据输出:USB

报告:连续、摘要模式

打印机附件:热敏打印机提供摘要报告和端口

产品应用:洁净房,层流台,生物安全柜,手套箱, HEPA吸尘机, HVAC系统, HEPA过滤器,负压过滤装置手术室,核子过滤系统,科研。

此法主要是用气气溶胶光度计对过滤器上游及下游PAO的浓度进行测定，从而确定过滤器是否泄漏。在进行测试时上游浓度控制在10ug/L-100ug/L之内联样控头距离过滤器不超过25.4mm,扫描速度不能超过50mm/s(EN-ISO-14644-3)。在医药行业中有同样的要求，如YY0569-2005生物安全柜。

2、使用颗粒计数器扫描（particle counter scanning）

高效过滤器检漏PAO的扫描方法使用颗粒计数器扫描，以颗粒数来表达过滤器上下游（个/m³，个/ft³），从而计算高效空气过滤器的局部效率，判断过滤器是否泄漏。

主要技术参数：

采样量：2.83L/min

检测范围：100级～30万级

判断净化级别：自动判断净化级别

粒径通道：0.3、0.5、1、3、5、10(µm)，六档粒径同时显示

采样周期：1～10(min)

自净时间：≤10（min)

公英制换算：有公英制换算

打印功能：内置打印机

工作环境温度：10～35℃　　相对湿度：≤75%RH

连续工作时间：8小时

带计数超限报警：100级、1000级、10000级、100000级、300000级

电源 功耗：AC 220V 50Hz 15w

外形尺寸（宽×高×深）：203×120×250（mm)

重量（kg)：2.6(kg)

数据存储：246组

显示方式：高清晰大屏幕液晶屏显示（LCD）

光源及寿命：半导体激光光源＞30000小时

随机附件：说明书、合格证、检测报告、保修卡、等动力采样头、采样管、三角架、打印纸、精美铝箱

具体的测试方法可以参考EN-ISO-14611-3或IEST-RP-CC034.1。

了解更多知识：高效过滤器检漏

直达PAO检漏法介绍：高效过滤器检漏测试PAO法

高效过滤器的现场检漏中通常采用PAO，发生器在过滤器上游发尘，使用光度计（photometer）、颗粒计数器（particle counter）检测上下游气溶胶浓度来判定过滤器是否泄漏。

PAO发生器可分为热发生和冷发生两种：

1、热发生器是利用蒸发冷凝的原理，被雾化的气溶胶粒子用加热器蒸发，并在特定条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下0.3um左右的雾状PAO进入风道，其MMD（mass median particle diameter）粒径为0.3左右，但因蒸发效应，其真实粒径分布在0.1-0.3um。该方法主要用在过滤器穿透效率测试（Penetration test）中，如MIL-STD-282。

2、冷发生器是指利用压缩空气在液体中鼓气泡，经laskin喷管飞溅产生物态的多分散相PAO气溶胶，其MMD（mass median particle diameter）粒径为0.5-0.7um左右（EN-ISO 14644-3-B.6.2.2）,CMD（count mean diameter）为0.3um左右（IEST-RP-CC021.1）,且粒径分布较热发生器要宽，成正态分布。该方法主要用在对过滤器的扫描检漏（Scan test）。如IEST-PR-CC034.1,EN-ISO-14644-3,EN1822-4（参考：EN 1822对高效过滤器效率等级规定）。

小知识：为什么要对高效过滤器现场测试？

通常，过滤器通过出厂检验，由过滤器厂商提供测试报告，由此证明过滤器符合客户现场需求。但是，客户如何能够更准确清晰的了解过滤设备在现场使用环境下，依旧能够保持厂商出厂所作的保证呢？这时候，就必须要通过对过滤设备进行现场检测，以确认其能够达到用户需求及供应商报告所显示的过滤效果。

了解更多：高效过滤器检漏PAO的扫描方法

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